|
Turbomolecular vacuum pumps (TURBOVAC) are used in applications which require a clean high or ultrahigh vacuum like, for example, in research, development or in industrial fields like the semiconductor industry, analytical instrumentation or coating technology. Pumping speeds for air vary from 35 l/s to 2400 l/s.
ปั๊มสุญญากาศชนิดเทอร์โบปั๊ม ทำความดันสุญญากาศระดับสูงถึง 10-10 mbar ทำงานร่วมกับ backing pump เช่น ปั๊มกลโรตารี่ เป็นต้น ใช้กับงานที่มีความสะอาดสูงและงานที่ต้องการสุญญากาศระดับลึกเช่น งานวิจัยและพัฒนา งานด้านอุตสาหกรรม ไม่ว่าจะเป็น อุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำ เครื่องวิเคราะห์ หรืองานเทคโนโลยีการเคลือบ
|
|
|
|
TURBOVAC i/iX
Turbomolecular pumps with hybrid bearing technology (mechanical/magnetic)
|
|
|
Feature
- Pumping speed up to 950 l/s
- Oil free hybrid bearings
(mechanical/permanent magnetic)
- Installation in any orientation
- Integrated electronics including a variety of
options for communication and control of
accessory components
- Versions for high compression and high gas
throughputs available
available
|
|
|
|
|
|
|
TURBOVAC
Turbomolecular pumps, mechanically suspended
|
|
|
Feature
- Pumping speed up to 1,150 l/s
- Two oil-free mechanical ceramic bearings
- Installation in any orientation
- Versions with high resistance to mechanical
shocks and shock venting obtainable
- Versions without any electronics for
radiation applications available
|
|
|
 |
|
|
|
|
TURBOLAB
Core cost efficient, easy to use pumping station
|
|
|
This entry level pumping station incorporates a turbomolecular pump and a backing pump together with a simple controller, all 3 fitted on a robust baseplate, making it the ideal solution for many applications!
|
|
|
|
|
|
|
