เครื่องตรวจเช็ครอยรั่วด้วยแก๊สฮีเลียม (Helium Leak Detector)
เครื่องตรวจเช็ครอยรั่วด้วยแก๊สฮีเลียม (Helium Leak Detector; HLD) ภายในตัวเครื่องจะประกอบด้วย ส่วนที่ทําหน้าที่ตรวจจับแก๊สฮีเลียม คือ เครื่องแมสสเปกโตรมิเตอร์ (Mass spectrometer) เป็นเครื่องมือที่ใช้วิเคราะห์หาชนิดและปริมาณของแก๊ส และอีกส่วนจะเป็นส่วนของปั๊มสุญญากาศ (Vacuum Pump) ใช้สําหรับสร้างสภาวะสุญญากาศในระบบ และดูดแก๊สฮีเลียมเข้ามาในระบบ จากนั้นแก๊สฮีเลียมจะถูกตรวจจับด้วยเครื่องแมสสเปกโตรมิเตอร์ โดยตัวเครื่องจะทําการวิเคราะห์ปริมาณฮีเลียม เนื่องจากแก๊สฮีเลียมเป็นแก๊สเฉื่อยที่มีปริมาณน้อยในอากาศที่เราใช้หายใจ ประมาณ 5 ppm ทําปฎิกิริยาได้ยาก ไม่ติดไฟ และมีขนาดโมเลกุลเล็ก สามารถทะลุผ่านรอยรั่วเล็ก ๆ ของชิ้นงานที่ต้องการทดสอบได้ จึงนิยมนํามาใช้ในการทดสอบหารอยรั่วของชิ้นงาน
อัตราการรั่ว (Leak rate) คือ ขนาดการรั่วไหลของแก๊ส ที่รั่วออกมาจากระบบในหนึ่งหน่วยเวลา ซึ่งการรั่วเหล่านี้จะทำให้ระดับความดันสุญญากาศในระบบลดลง ส่งผลให้การทำงานในระบบมีประสิทธิภาพลดลง คุณภาพในการผลิตชิ้นงาน (Product Quality) ภายใต้ความดันสุญญากาศก็จะลดลงไปด้วย สาเหตุที่ทำให้เกิดการรั่วมีหลายสาเหตุด้วยกัน อาจเกิดจากการรั่วภายในตัวระบบเอง หรืออาจเกิดจากความเสื่อมสภาพจากการใช้งานของอุปกรณ์ต่างๆในระบบ เช่น O-ring, ท่อ หรือข้อต่อต่างๆ ในปัจจุบันมีการประยุกต์ใช้ระบบสุญญากาศมากมายในหลากหลายอุตสาหกรรม ทั้งอุตสาหกรรมอาหาร (Food & Packaging), อุตสาหกรรมยานยนต์ (Automotive Parts), อุตสาหกรรมการเคลือบผิววัสดุต่างๆ (Coating & Surface Treatment) ดังนั้นผู้ใช้งานจึงควรมีการตรวจเช็คระบบอย่างสม่ำเสมอ เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดการรั่ว (Leak Rate) ที่มากเกินไป จนทำให้มาตรฐานในการผลิตสินค้าต่ำลง หรือประสิทธิภาพการทำงานในระบบสุญญากาศลดลงจนไม่สามารถทำงานได้
เทคนิคในการตรวจเช็ครอยรั่วโดยใช้แก๊สฮีเลียม (Helium Leak Detection Techniques)
สามารถแบ่งออกได้เป็นสองประเภท คือ
|