การเลือกใช้เกจวัดความดันสุญญากาศตามระดับความดันสุญญากาศ
ช่วงความดันสุญญากาศ (Vacuum Range) และความต้องการในการใช้งาน (Application) เป็นปัจจัยสำคัญในการเลือกใช้เกจวัดความดันสุญญากาศ
Vacuum Applications in Different Vacuum Ranges
จากรูปเราจะเห็นได้ว่า งานแต่ละประเภทมีการใช้ช่วงความดันสุญญากาศที่แตกต่างกันออกไป ดังนั้น เราจึงควรเลือกเกจวัดความดันให้เหมาะสมกับงาน เพื่อประสิทธิภาพสูงสุดในการผลิต หรือทดลอง
Vacuum Gauge in Different Vacuum Ranges
Vacuum Gauge for Rough Vacuum
ความดันตั้งแต่ ความดันบรรยากาศ ถึง 10-3 mbar ส่วนใหญ่มักจะใช้เกจการวัดแบบ Mechanical Gauge และแบบ Thermocouple Gauge ซึ่งแต่ละประภทจะมีข้อดี-ข้อเสียแตกต่างกันไป ดังนี้
Vacuum Gauge for High Vacuum
ความดันตั้งแต่ 10-3 ถึง 10-8 mbar ส่วนใหญ่มักจะใช้เกจแบบ Ionization Gauge ข้อเปรียบเทียบระหว่าง Hot Filament Ionization Gauge (HFIG, Bayard Alpert or BA) และ Cold Cathode/Inverted Magnetron Gauges (IMG) มีดังนี้
Vacuum Gauge for Ultrahigh Vacuum
ความดันตั้งแต่ 10-8 ถึง 10-11 mbar ส่วนใหญ่มักจะใช้เกจแบบ Ionization Gauge เช่นเดียวกัน หรืออาจมีการใช้ Residual Gas Analyzers มาวัดค่าความดันของก๊าซแต่ละชนิด (Partial Pressure) ได้เช่นเดียวกัน โดยมีข้อเปรียบเทียบดังนี้
|